SK하이닉스가 국내 소부장(소재·부품·장비) 기업과 함께 업계 최초로 네온(Ne) 가스 재활용 기술을 개발했다.

SK하이닉스는 반도체용 특수가스 기업 'TEMC'와 협업해 한 번 사용한 네온의 불순물 제거 등의 분리 및 정제 특성을 활용해 네온 재활용 기술 개발에 성공했다고 1일 밝혔다. 

네온은 희귀 가스 중 하나로, 반도체 노광공정에 필수적인 엑시머 레이저 가스의 주요 성분이다. 최근 국제 정세 불안으로 인해 수입에 의존해 온 네온의 수급 불확실성이 커지자, 국내 소부장 기업과 함께 재활용 기술 개발에 나서 약 1년 만에 성과를 냈다.

양사는 노광공정 이후에 스크러버를 통해 공기 중으로 배출되던 네온 가스를 수집 탱크에 포집하고, TEMC의 가스 처리 과정을 통해 네온만 선택적으로 분리해 정제했다. 스크러버는 반도체 생산 공정 중 발생하는 가스, 화합물 등을 걸러내고 제거하는 장치다.

정제된 네온은 다시 SK하이닉스로 공급되어 반도체 제조 공정에 사용된다. 현재 네온 회수율은 72.7%에 이른다. SK하이닉스는 앞으로 지속적으로 정제 수율을 개선해 네온 회수율을 77%까지 높일 계획이다.

이번 네온 재활용 기술이 반도체 공장에 적용될 경우 연간 400억원의 네온 구매 비용이 줄어들 것으로 예상된다. 네온 생산 과정에서의 온실가스 배출량을 약 1만2000tCO2e/yr(연간 이산화탄소 환산량) 줄이는 효과도 낼 것으로 보인다.

SK하이닉스는 앞으로 이 같은 기술 개발을 위해 협력사들과의 파트너십을 발전시킬 방침이다. 또 2025년까지 네온, 중수소, 수소, 헬륨 등 4개 가스 소재와 황산 등 화학 소재 등 총 10개 원자재의 재활용 기술을 개발할 계획이다. 뉴시스